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XD三座标测量平台材质是高强度铸铁HT200-300，工作面硬度为HB170-240，经过两次人工处理（人工退火600度-700度和自然时效2-3年）使用该产品 的精度稳定，耐磨性能好。精度按国家标准计量检定规程分别为0、1、2、3四个等级。三坐标的平台是花岗岩结构，这样三坐标的主轴也是花岗岩材质。主轴采用花岗岩而横梁和Z轴采用铝合金等其他材质，在温度变化时会因为三轴的热膨胀系数不均同而引起测量精度的失真和稳定。
三轴导轨上海欧潼采用全天然花岗岩四面全环抱式矩形结构，配上高精度自洁式预应力气浮轴承，是确保机器精度长期稳定的基础，同时轴承受力沿轴向方向，受力稳定均衡，有利于保证机器硬件寿命。
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