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在外加电场的作用下，介质放电产生的大量电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体，轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变为无毒无害或低毒低害物质，从而使污染物得以降解去除。
技术特点：
1.适用范围广且无二次污染：低温等离子体技术能高效去除各种挥发性有机物（VOC）以及其它主要污染物，能去除恶臭；同时，设备运行过程中不会产生废水、废渣等二次污染
2.净化能力强，反应速度快：低温等离子设备形成的等离子体能与各种废气分子发生反应；同时由于等离子体密度高，反应进行迅速，使得废气净化率大大提高
适用范围：
该技术可广泛应用于石油化工、制药、食品、污水处理厂、涂料、皮革加工、感光材料、汽车制造等诸多行业有机废气的治理。