国产高性能激光干涉仪（SJ6000）

 激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。激光干涉仪是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备，由美国HP公司研制成功并于1970年投入市场，随即受到了相关行业特别是机床制造业的重视，其主要在：线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。随着激光干涉仪测量技术的不断提高，测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛，特别是在测量数控机床位置精度方面用途最为广泛。

国产高性能激光干涉仪（SJ6000）采用进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现多种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(约8分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性长度、角度、直线度、平行度、平面度以及垂直度等几何量，并且可以进行动态测量分析。

国产高性能激光干涉仪（SJ6000）数据库内置标准：

 

国产高性能激光干涉仪（SJ6000）技术指标：

系统性能

测量方式：单频

稳频精度：±0.05ppm

动态采集频率：50 kHz

预热时间：约8分钟

工作温度范围：(0～40)℃

存储温度范围：(-20～70)℃

环境湿度：(0～95)%RH

环境补偿示值误差

空气温度传感器：±0.1℃ (0～40)℃，分辨力0.01℃

材料温度传感器：±0.1℃ (0～55)℃，分辨力0.01℃

空气湿度传感器：±5%RH  (0～95) %RH

大气压力传感器：±0.1kPa  (65～115)kPa

线性测量

测量距离：(0～80)m

测量精度：±0.5ppm (0～40)℃

测量分辨力：1nm

测量最大速度：4m/s

角度测量

轴向量程：(0～15)m

测量范围：±10°

测量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M) ″(R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

测量分辨力：0.1″

平面度测量

轴向量程：(0～15)m

测量范围：±1.5 mm

测量精度：±(0.2%R+0.02M²) μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)

基板尺寸：180mm可调，360mm可调

测量分辨力：0.1μm

直线度测量

	轴向量程	测量范围	测量精度	分辨力
短距离	(0.1～4.0)m	±3mm	±(0.5+0.1%R+0.1M2) μm	0.01μm
长距离	(1.0～30.0)m	±3mm	±(5.0+2.0%R+0.05M2) μm	0.1μm
注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m

垂直度测量

	轴向量程	测量范围	测量精度	分辨力
短距离	(0.1～3.0)m	±3mm	±(0.5+0.1%R+0.2M)″	0.01μm
长距离	(1.0～20.0)m	±3mm	±(0.5+0.5%R+0.04M)″	0.1μm
注：R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m

精密转台

型号：WR50

角度测量范围：(0～360)°

测量精度：±1″

分辨力：0.1″

最高转速：10rpm

重量：2.1kg

供电：锂电池

通信：蓝牙传输

触发盒

型号：CT70

供电： DC 12V

信号输入：差分TTL（RS422）正交编码信号、10uApp微电流信号

输出形式：10us脉冲

触发延时：0.1us

尺寸重量与供电

便携箱尺寸：外尺寸：613mm×460mm×230mm

线性配置重量：18Kg

 

供电电源：(100～240)VAC